Nikon NEXIV VMR-K3040ZC
  • Nikon NEXIV VMR-K3040ZC

Nikon NEXIV VMR-K3040ZC

Конфокалният NEXIV VMR-K3040ZC на Nikon е идеален за измерване на сложни корпуси на интегрални схеми, произтичащи от огромната необходимост от надеждни полупроводникови изделия.

Количество

  • Politica de securitate (editeaza cu modulul Reasigurare pentru clienti) Politica de securitate (editeaza cu modulul Reasigurare pentru clienti)
  • Politica de livrare (editeaza cu modulul Reasigurare pentru clienti) Politica de livrare (editeaza cu modulul Reasigurare pentru clienti)
  • Politica de returnare (editeaza cu modulul Reasigurare pentru clienti) Politica de returnare (editeaza cu modulul Reasigurare pentru clienti)

Конфокалният NEXIV на Nikon осигурява ново измерение в метрологията на интегрални схеми.

 

Конфокалният NEXIV VMR-K3040ZC на Nikon е идеален за измерване на сложни корпуси на интегрални схеми, произтичащи от огромната необходимост от надеждни полупроводникови изделия. NEXIV разполага с нова оптична измервателна глава с помощта конфокалните възможности за решаване на проблема на Z-серията при измерване. Тази глава поддържа способност за измерване на ниво микрон, и е оптимизирана за измерване на полупроводници, засичайки ниските изкривявания, за да оптимизира цялото зрително поле.

 

Категории: Системи за визуална инспекция

Приложения: Дисплеи с течни кристали, MEMS, Компоненти за задвижващата система на автомобила, Мобилни телефони и часовници, Автоматизирани измервания, Оптика за телескопи, Антени, Телекомуникации & Електроника

 

 

Конфокални лещи на обектива

Конфокални лещи: 1.5x - W.D. 24mm, 3x - W.D. 24mm, 7.5x - W.D. 24mm

 

Модерна обработка на изображенията

Модерната технология за обработка на изображението подобрява контраста и прецизността посредством мощна функция за откриване на ръбове, гарантирайки точност и повторяемост.

Измерване на височина

 Бързо, конфокално измерване с висока точност на височината 0.35 при 2 сигма в цикъл 1,5 секунди

 

Софтуер за автоматично измерване

Нов, лесен за програмиране, гъвкав VMR софтуер за автоматично измерване включва CAD четец, офлайн програмиране, софтуер за профилиране и “wizard” интерфейс.

 

Progressive B/W CCD без дефекти

По-бързо получаване на изображенията и скорост на системата с избран клас инструмент за прогресивно сканиране без дефекти, черна и бяла CCD камера.

 

Широк набор от приложения

Идеален за измерване на 2D и 3D детайли с микро размери, всички изискващи изключително висока точност. Примерите включват височини на издатини на IC корпуси, MEMS, сонда карта, микро лещи, контактни лещи, фото фиксатори за цветен FPD панел, матрици и др.

 

Предимства на конфокалната технология

С широко приложение в био- изследванията, конфокалната микроскопия има няколко предимства пред  конвенциалната оптична микроскопия, включващи контролируема дълбочина на полето, елиминиране на влошаване на изображението извън фокуса, както и способността да се събират серийни оптични секции от проби от материала. Ключът към конфокалния подход е използването на пространствено филтриране, за да се премахнат отблясъци в изображенията на материалните образци. Конфокалният NEXIV на Nikon използва диск на Нипков, който включва по няколко, симетрично разположени спирали от точкови апертури, през които минава светлината и се разделя на мини-лъчи. Като се върти диска, всеки лъч сканира цяла една част от областта на пробата и генерира 3D изображение. Изображението се прожектира в цифрова CCD камера с помощта на оптична технология за разделяне на секции. Резултатът е 3D изображение, заснето в едно сканиране, което осигурява изключително точни и надеждни данни за измерване на височината.

 

Модерна оптика

Модерната оптика на Nikon осигурява висококачествени изображения за по-добра повторяемост и точност на измерванията.

 

Телескопичен Zoom

5-стъпков, 15х телецентричен zoom (15:1) увеличение за покриване на различни резолюции и зрителни полета. 

 

Предметна масичка 300 x 400 x 150mm

Бърз, точен и издръжлив – ход 300 X, 400Y mm, 150mm Z

 

Подобрена точност на предметната масичка

Подобрена точност на предметната масичка с нов, по-нисък коефициент на разширение и скала 0.1µm

 

Сачмено-винтови двойки с голям диаметър

СВД с голям диаметър с DC сервомотори за висока скорост и коравина.

 

Автофокус с TTL лазер

Високоскоростен лазер, сканиращ 1000 points/sec. с 0.5µm Z точност при 2 sigma.

 

Обхват  (Xx Yy Zz) (Стандартен): 300 x 400 x 150mm (11.8 x 15.8x 5.9 in)
Разделителна способност: 0.1 µm
Максимално тегло на детайла: 20kg (44.0 lb)
Точност при 20C+/-0.5K: U1x U1y: 1.5 + 4L/1000 µm
Точност при 20C+/-0.5K: U2xy (Стандартна): 2.5 + 4L/1000 µm
Точност по Z-ос: (1.5+L/150) µm
Камера: B/W Progressive Scan camera
Максимална височина на образеца (Стандартна): 150mm
Обектив 1.5x: W.D. 24mm, FOV 8 x 6mm to 0.53 x 0.4mm, Z measurement @ 2 sigma 0.6µm
Обектив 3x: W.D. 24mm, FOV 4 x 3mm to 0.27 x 0.2mm, Z measurement @ 2 sigma 0.35µm
Обектив 7.5x: W.D. 24mm, FOV 1.6 x 1.2 mm to 0.11 x 0.08mm, Z measurement @ 2 sigma 0.25µm
Автофокус: TTL Through the lens laser and video auto focus
Захранване: AC 100 to 240 V ±10%, 50/60 Hz
Консумация: Approximately 13A
Размери и тегло: основен корпус & маса: 1150(W) x 1250(D) x 1980(H) mm, 900kg; 51.1 (W) x 49.2(D) x 80(H) in., 1980 lb
Размери и тегло: Контролер: 250(W) x 550(D) x 500(H) mm, 20kg; 9.8(W) x 21.7(D) x 19.7(H) in., 44.1lb
Footprint: 2200(W) x 1250(D) mm; 87(W) x 49.2(D) in; estimate of main unit & computer table

Мрежови компютър

Pentium 4 (Windows® 2000/XP)
Монитор: 19-inch LCD flat panel (standard for USA)
   
Cod produs: NEXIV VMR-K3040ZC